催化燃燒法即將廢氣溫度直接升高到250~350℃，利用催化劑中的活性組分，使廢氣中的有機物質轉化為二氧化碳和水。該方法具有處理效率高、處理徹底等優點。適合濃度較高的廢氣處理。但若廢氣中存在N、S等組分，則不適合使用此方法。因為直接將含有這些元素的廢氣燃燒會產生SOx、NOx等氣體，造成了二次污染。
| 方法 | 溫度 | 初期投資 | 運行費用 | 適用范圍 | 缺點 |
| 催化燃燒 | 300~500℃ | 高 | 高 | 中、高濃度連續廢氣， 廢氣組分簡單 | 對于組分復雜的廢氣， 催化劑易中毒 |
| 光催化法 | 常溫 | 低 | 中 | 低濃度廢氣處理， 除臭效果比較好 | 高性能催化劑制備較難， 對于組分復雜的廢氣， 催化劑易中毒 |
光氧催化技術主要是利用了催化劑的光催化活性。吸附在吸附劑上的有機物質在光照下發生反應，將有機物質轉化成CO2和H2O等無害的小分子物質。該方法的優點在于操作簡單，條件易控制，且使用后的催化劑經過處理后仍然可以回收利用，節約了成本。
近年來，納米TiO2光氧催化技術已經越來越完善且其優勢也日漸明顯。納米TiO2光催化氧化技術的綜合性能好、反應快且無副產品產生、價格便宜等優點已經使該技術成為了一種最為受歡迎的處理方式。
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